轴承部分采用线性滚珠轴承。
■轴承部分采用了线性滚珠轴承，在*大限度上发挥了膜片气缸的优势。■比FC系列的摩擦阻力更小。■针对压力变动追踪性更好。■微小压力也可以动作。■受到径向
■拥有超群的气密性。■由于非常平顺的动作，迟滞非常小。■微压动作，仅有的压力变动也可以敏感应答。■低速时也可以平稳动作。■不需要润滑。■可以特殊环境，及形状对应。
